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在等平面Ｓ工艺基础上，开发了一种ＥＣＬ超高速Ｄ触发器的ＩＣ工艺制作技术，并优化其关键工艺，得出一套新的工艺控制方案和参数。用该工艺技术制作的晶体管截止频率ｆＴ最大值为５．４ＧＨｚ（Ｖｃｅ＝５Ｖ）；制作的ＥＣＬ超高速Ｄ触发器，在功耗电流只有３０ｍＡ情况下，工作频率典型值为８５０ＭＨｚ，最高可达９００ＭＨｚ以上，较好地解决了器件速度与功耗的矛盾。