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由于MEMS器件的应用日益频繁，其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度计为例，指出了该加速度计的可靠性问题，以及对其可靠性测试研究的内容。
MEMS及微机械加速度计可靠性研究
【摘 要】
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由于MEMS器件的应用日益频繁，其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度计为例，指出了该加速度计的可靠性问题，以及对其可靠性测试研究的内容。
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2006年5期
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