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研究了冷等离子体提纯硅粉薄层时硅粉的粒度与硅粉薄层的厚度对提纯效果的影响.实验表明,硅粉的颗粒大小在60-80μm之间,硅薄层的厚度为0.5mm时提纯效果较好.
冷等离子体提纯硅粉薄层的实验研究
【摘 要】
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研究了冷等离子体提纯硅粉薄层时硅粉的粒度与硅粉薄层的厚度对提纯效果的影响.实验表明,硅粉的颗粒大小在60-80μm之间,硅薄层的厚度为0.5mm时提纯效果较好.
【机 构】
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华中理工大学电子科学与技术系,武汉430074
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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2000年2期
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