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SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测.本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据.
SMIF／微环境中数值模拟气流的研究
【摘 要】
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SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测.本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装
【机 构】
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同济大学200092
【出 处】
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建筑热能通风空调
【发表日期】
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2002年1期
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