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提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.更多还原
激光烧蚀刻蚀过程的实时监测技术研究
【摘 要】
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提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.更多还原
【机 构】
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四川大学物理系
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1989年5期
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