激光烧蚀刻蚀过程的实时监测技术研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shanon0577

【摘要】

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提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.更多还原

【作者】

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【机构】

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四川大学物理系

【出处】

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中国激光

【发表日期】

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1989年5期

【关键词】

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提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.更多还原

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