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设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。
高性能128×128元PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵
【摘 要】
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设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。
【机 构】
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重庆光电技术研究所,重庆光电技术研究所永川632163教授级高工,永川632163
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年2期
【基金项目】
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国家“863”基金项目
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