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本文系统地介绍了碳膜的制备技术及其厚度测量方法。碳膜制备技术有碳弧法、电阻加热法、电子轰击法、离心沉淀法和裂解乙烯法。碳膜厚度测量方法包括称重法、背散射法、等效空气法和吸光光度法。
碳膜制备和厚度测量的研究
【摘 要】
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本文系统地介绍了碳膜的制备技术及其厚度测量方法。碳膜制备技术有碳弧法、电阻加热法、电子轰击法、离心沉淀法和裂解乙烯法。碳膜厚度测量方法包括称重法、背散射法、等效
【机 构】
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中国原子能科学研究院; 中国原子能科学研究院 北京; 北京; 北京;
【出 处】
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中国核科技报告
【发表日期】
：
2004年期
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