【摘 要】
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介绍了SF6生产过程中水洗系统的工艺改造,对H2和SF6中夹带的HF气体洗涤后提浓回收,使其符合工业标准的氢氟酸产品.解决了系统堵塞和腐蚀问题,降低了三废处理成本.
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介绍了SF6生产过程中水洗系统的工艺改造,对H2和SF6中夹带的HF气体洗涤后提浓回收,使其符合工业标准的氢氟酸产品.解决了系统堵塞和腐蚀问题,降低了三废处理成本.
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