【摘 要】
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在氢气流中净化磷化氢和砷化氢的新型催化剂和净化罐的研究郭坤敏，袁存乔，马兰，谢自立（中国防化研究院，北京１０００８３）新型半导体材料的ＭＯＣＶＤ（金属有机物气相沉积）或ＭＯＶＰＥ（金属有机物气相外延）的工艺尾气是
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在氢气流中净化磷化氢和砷化氢的新型催化剂和净化罐的研究郭坤敏，袁存乔，马兰，谢自立（中国防化研究院，北京１０００８３）新型半导体材料的ＭＯＣＶＤ（金属有机物气相沉积）或ＭＯＶＰＥ（金属有机物气相外延）的工艺尾气是以氢气为主体的含有ＰＨ＿３、ＡｓＨ＿３...
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