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本文介绍了一种新型结构ＣＯ敏的半导体薄膜材料－粉末溅射方法制备的表面层掺杂ＳｎＯ２／ＳｎＯ２：Ｐｔ双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响，并对气敏机是的有关问题进行了讨论。
粉末溅射SnO2／SnO2：Pt双层膜对CO的气敏特性
【摘 要】
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本文介绍了一种新型结构ＣＯ敏的半导体薄膜材料－粉末溅射方法制备的表面层掺杂ＳｎＯ２／ＳｎＯ２：Ｐｔ双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响，并对气敏机是的有关问题进行了讨论
【机 构】
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山东工业大学数理系
【出 处】
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山东环境
【发表日期】
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1999年5期
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