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本文利用离子束在玻璃上刻蚀出双频光栅,研究了光栅掩模制作中曝光量和显影条件,离子束刻蚀工艺等因素对光栅衍射效率的影响,并给出一些实验结果。
离子束刻蚀双频光栅的实验研究
【摘 要】
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本文利用离子束在玻璃上刻蚀出双频光栅,研究了光栅掩模制作中曝光量和显影条件,离子束刻蚀工艺等因素对光栅衍射效率的影响,并给出一些实验结果。
【机 构】
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中国科技大学国家同步辐射实验室,中国科技大学物理系,中国科技大学物理系合肥,230026,合肥,230026
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1992年2期
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