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在高分辨X射线衍射仪上，利用不对称布拉格衍射STD技术与单晶摇摆曲线技术相结合的方法，对碲锌镉单晶材料的晶格畸变进行了分析测定。此方法实现了一次装样，多角度、多次测定晶体的摇摆曲线，从而利用多组实验数据完成多元线性回归方程组的求解，避开了一般应变测定方法中难以确定无应力状态下衍射角的问题。所测定的生长态碲锌镉晶片晶格畸变量为10^-3-10^-2数量级，该畸变量是碲锌镉晶片存在成份偏析、位错和空位等缺陷以及晶片受到的应力综合作用的结果。