【摘 要】
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微流控芯片系统在精确操作微流体方面有着独特的优势,但是传统的微制造技术在功能化微流控芯片的加工上有着一定的局限性。飞秒激光具有独特的超短脉宽和极高峰值强度的特点
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 南通职业大学机械工程学院; 合肥师范学院化学与化学工程学院;
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微流控芯片系统在精确操作微流体方面有着独特的优势,但是传统的微制造技术在功能化微流控芯片的加工上有着一定的局限性。飞秒激光具有独特的超短脉宽和极高峰值强度的特点已被广泛用于精细加工与微纳制造领域,因此被广泛用于功能化微流控芯片的制备。本文将基于飞秒激光直写结合微流控芯片从以下三个研究方向进行综述:1,不同材料微流控芯片中的飞秒激光功能器件集成技术;2,飞秒激光集成微流控芯片的多功能应用;3,微流控芯片的高效率飞秒激光加工技术。通过对飞秒激光直写在微流控领域的研究结果总结与归纳,为飞秒激光直写制备微流控芯片的研究与应用及未来发展方向提供参考。
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