线阵CCD在异形回转体轮廓尺寸测量中的应用

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讨论利用线阵CCD图象测量方法。配备Z、Y二维运动工作台及绕Z轴回转数显工作台,地异形回转体三轮轮廓尺寸进行检测。用Marr边缘检测算子对CCD获得的原始灰度图像进行处理,采用最小二乘法完成曲线拟合,获得亚象元分辩率。对Φ200mm异形回转体零件进行尺寸测量,测量系统精度达到μm级,并给出了试验结果。
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