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分别以载玻片、陶瓷片、镀铝聚酯膜、普通白纸和Cu片为基底,聚四氟乙烯（PTFE）粉末为原料,采用电子束蒸发法沉积聚合物薄膜.对于基底载玻片和陶瓷片,采用2％H2SO4溶液刻蚀预处理后在其上沉积厚度为125nm的聚合物薄膜;Cu片用不同浓度草酸刻蚀预处理后在其上沉积厚度为62 nm的聚合物薄膜;而基底镀铝聚酯膜和白纸,直接在其上沉积不同厚度的PTFE薄膜.通过傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）、原子力显微镜（AFM）、接触角测量仪分别对薄膜的成分、表面形貌和疏水性进行表征.结果表明：经刻蚀处理后,基底表面粗