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本文提出了一种显示硅中电离杂质扩散分布的电解水氧化显微法,方法简便有效。文中给出了显微照片。
硅中电离杂质扩散分布的显微观测
【摘 要】
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本文提出了一种显示硅中电离杂质扩散分布的电解水氧化显微法,方法简便有效。文中给出了显微照片。
【机 构】
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江西大学物理系
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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1981年02期
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