利用飞秒激光直写实现透明介电材料中三维维微微纳结构的制备与集成

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【摘要】

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本文综述了利用飞秒激光三维直写技术,在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构,并进一步构筑新型微纳光子器件的原理、技术与应用

【作者】

：

何飞廖洋程亚

【机构】

：

中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室,

【出处】

：

物理学进展

【发表日期】

：

2012年02期

【关键词】

：

飞秒激光直写微加工介电材料微流体微光学

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本文综述了利用飞秒激光三维直写技术,在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构,并进一步构筑新型微纳光子器件的原理、技术与应用。

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