Design and optimization of an integrated MEMS gas chamber with high transmissivity

来源 :数字通信与网络:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxblovezxh

【摘要】

：

Non-Dispersive InfraRed(NDIR)gas sensor is widely used for gas detection in collieries and the gas chemical industry,etc.The performance of the NDIR gas sensor

【作者】

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Yang Jing Cheng Yuhua Yuan Yup

【机构】

：

SchoolofAutomationEngineeringUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,thInstituteofChinaEle

【出处】

：

数字通信与网络:英文版

【发表日期】

：

2021年1期

【关键词】

：

NDIR Gas sensor Gas chamber MEMS

【基金项目】

：

This work was supported by the National Key Research and Development Program of China(Grant No.2017YFB0406404),the Chongqing Science and Technology Major Theme Project(No.cstc2018jszx-cyztzxX0001).

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Non-Dispersive InfraRed(NDIR)gas sensor is widely used for gas detection in collieries and the gas chemical industry,etc.The performance of the NDIR gas sensor depends on the volume,optical length and transmittance of the gas chamber.However,the existing

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