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微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术.这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨.并根据已有实验数据进行了分析.
微操作的特性及静电力的消除
【摘 要】
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微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术.这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨.并根据已有实验数据进行了分析.
【机 构】
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中科院长春光学精密机械物理研究所长春 130025广东工业大学自动化所广州 510090;
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2004年期
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