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设计和制作了ＩｎＰ／ＩｎＧａＡｓＰ单输入光波导，多输出光波导，和光栅的单片集成波长分离器件，文中给出了器件和设计参数，以及制作工艺，并给出了该器件物测试原理图。
InUP系单片集成波长分离器件的设计和制作
【摘 要】
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设计和制作了ＩｎＰ／ＩｎＧａＡｓＰ单输入光波导，多输出光波导，和光栅的单片集成波长分离器件，文中给出了器件和设计参数，以及制作工艺，并给出了该器件物测试原理图。
【机 构】
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绍兴文理学院物理系,中科院上海冶金研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1997年4期
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