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采用溶胶-凝胶法在普通裁玻片上制备了（002）择优取向的AZO薄膜，研究了不同的热处理温度和掺杂浓度对薄膜微结构的影响。利用XRD和SEM表征了AZO薄膜晶体结构的择优取向和表面形貌。结果表明，热处理温度为450℃，择优取向最强，热处理温度高于或低于450℃时，择优取向都减弱；当掺杂浓度为2％时，AZO的择优取向最强，随着Al掺杂浓度的增大，薄膜的晶粒尺寸减小，薄膜变得更加致密。