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为了解决氧化铟锡靶与铟的不润湿,采用了一种特殊的方法,在ITO靶与铟熔体界面处,对铟熔体施加局部的高压处理,增加了ITO界面的亚微观缺陷,促进了In与ITO的渗透和交融,实现了ITO靶与铟的润湿和铺展,为ITO靶和Cu靶座的焊接奠定基础.
氧化铟锡靶与铟的润湿性研究
【摘 要】
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为了解决氧化铟锡靶与铟的不润湿,采用了一种特殊的方法,在ITO靶与铟熔体界面处,对铟熔体施加局部的高压处理,增加了ITO界面的亚微观缺陷,促进了In与ITO的渗透和交融,实现了I
【机 构】
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广州凯得控股有限公司,广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广州三盛电子实业有限公司
【出 处】
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广东有色金属学报
【发表日期】
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2001年2期
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