Influence of O/Ar ratio on the properties of NiO thin film grown with the method of radio-frequency

来源 :北京理工大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yongqiangdd

【摘要】

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In order to obtain high quality NiO thin film grown with the radio-frequency magnetron sputtering method, the influence of O/Ar ratio on the structure, band-gap

【作者】

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WANG Xin TANG Hai-ying LI Ye Q

【机构】

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SchoolofScience,InternationalBusinessCollege

【出处】

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北京理工大学学报：英文版

【发表日期】

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2012年4期

【关键词】

：

半导体技术材料理论设计计算 nickel oxide thin film radio-frequency magnetron sputtering

【基金项目】

：

Supported by the National Natural Science Foundation of China（11004016）

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In order to obtain high quality NiO thin film grown with the radio-frequency magnetron sputtering method, the influence of O/Ar ratio on the structure, band-gap, resistivity and optical transmittance of NiO thin films were studied. It was found that the o

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