【摘 要】
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介绍了等离子体源离子注入(PSII)的现状、特点、原理和应用效果。
The present situation, characteristics, principle and application effect of plasma source ion impl
【机 构】
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西南交通大学rrrrrrrrn,西南交通大学rrrrrrrrn,西南交通大学
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介绍了等离子体源离子注入(PSII)的现状、特点、原理和应用效果。
The present situation, characteristics, principle and application effect of plasma source ion implantation (PSII) are introduced.
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