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研究了PMMA热压键合工艺,测量了PMMA的键合强度,利用扫描电镜检测了键合后微流体管道的结构变化,讨论了键合温度、键合压力等因素对键合强度的影响;给出了热压键合的合理工艺参数范围.结果表明,经过参数优化后的热压键合法可以满足PMMA微流体器件对键合的需求.
PMMA面键合的热压法工艺研究
【摘 要】
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研究了PMMA热压键合工艺,测量了PMMA的键合强度,利用扫描电镜检测了键合后微流体管道的结构变化,讨论了键合温度、键合压力等因素对键合强度的影响;给出了热压键合的合理工艺
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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中国科学院知识创新工程资助项目
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