【摘 要】
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ZnO作为活性层制作薄膜晶体管(thin film transistor,简称TFT),因性能改进显著而成为新兴的研究热点.就TFT发展历史、器件典型结构以及在AMLCD中的应用、国外ZnO TFT器件的进
【机 构】
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辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,北京交通大学光电子技术所 辽宁沈阳110036,辽宁沈阳110036,北京100044
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ZnO作为活性层制作薄膜晶体管(thin film transistor,简称TFT),因性能改进显著而成为新兴的研究热点.就TFT发展历史、器件典型结构以及在AMLCD中的应用、国外ZnO TFT器件的进展状况进行综述,并展望了器件的前景.
ZnO thin film transistor (TFT) as an active layer is a new research hotspot due to its remarkable performance improvement.For the development history of TFT, the typical structure of the device and the application in AMLCD, the progress of foreign ZnO TFT devices Overview, and prospects of the device.
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