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针对多自由度压电晶片驱动机构,建立了多自由度质量—弹簧—阻尼等效模型。通过对压电晶片驱动机构模型中等效刚度和阻尼系数变参数研究系统在不同情况下的阶跃响应及系统稳定性。通过进一步的数值仿真,确定压电晶片驱动机构虽然不可控,但仍然是镇定系统,验证了微推力器中首次应用压电晶片驱动机构的合理性,该系统的阶跃响应快且稳定在3.34×10^-6m。