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用微电子工艺制备了VO2溅射薄膜红外探测器,在296K的环境温度中测试了该探测器对8-12μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压,结果显示该探测器在调制频率为30Hz时可以实现探测率D*＝1.89×108cmHz1/2W-1，热时间常数τ=0.011s的非致冷红外探测.
基于VO2薄膜非致冷红外探测器性能研究
【摘 要】
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用微电子工艺制备了VO2溅射薄膜红外探测器,在296K的环境温度中测试了该探测器对8-12μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压,结果显示该探测器在调制频率为30Hz时可以实现探测率
【机 构】
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华中科技大学光电工程系
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2001年2期
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