【摘 要】
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针对白光扫描干涉术在垂直大范围扫描过程中的测量效率问题,提出了一种基于有效信号提取的白光信号快速处理方法。使用白光LED光源,建立了双峰频谱分布模型,并使用该模型进行了仿真实验,给出了不同算法在特定采样步长下所需的最小采样区间长度确定方法,在不改变测量精度的条件下减少了解算所需的数据量,并使得轮廓解算可以在采样结束前开始。针对垂直大范围扫描过程中的背景值波动问题,给出了一种基于背景集合的白光干涉信号背景分离方法,并通过与几种常见信号处理方法的比较,证明了背景值提取的完整性,有效消除了背景值波动现象对测量精
【机 构】
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中国民航大学中欧航空工程师学院,天津300300
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针对白光扫描干涉术在垂直大范围扫描过程中的测量效率问题,提出了一种基于有效信号提取的白光信号快速处理方法。使用白光LED光源,建立了双峰频谱分布模型,并使用该模型进行了仿真实验,给出了不同算法在特定采样步长下所需的最小采样区间长度确定方法,在不改变测量精度的条件下减少了解算所需的数据量,并使得轮廓解算可以在采样结束前开始。针对垂直大范围扫描过程中的背景值波动问题,给出了一种基于背景集合的白光干涉信号背景分离方法,并通过与几种常见信号处理方法的比较,证明了背景值提取的完整性,有效消除了背景值波动现象对测量精度造成的影响。最后将上述方法应用于自主设计开发的白光轮廓仪,使用傅里叶变换法精确测量了U盘接口表面形貌特征。测量结果表明: 从扫描开始到获得表面高度信息的总时间减少了49.02%。
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利用超高真空制备技术,对以蓝宝石为衬底、AlN为缓冲层的MOCVD外延P-GaN样品进行了光电阴极制备,并利用紫外光谱响应测试仪,对所制备的基于负电子亲和势(NEA) GaN光电阴极在反射式和透射式两种工作模式下的量子效率特性进行了测试与对比分析。实验结果显示,在反射模式下,样品在240 nm处具有高达50%的量子效率,而在透射模式下量子效率最高只有15%,量子效率曲线拟合表明该样品的后界面复合速率为104 cm/s。通过分析发现,造成两种工作模式下量子效率相差较大的主要影响因素是后界面复合速率和GaN外
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综述了飞秒激光进行材料加工的多种机理和理论;主要介绍了飞秒激光对玻璃、石英、金属、聚合物等各种材料加工的最新研究进展状况及各方面的应用;飞秒激光加工是门新兴的学科,具有重要的应用前景。
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研究了光学三稳态系统中的两种慢化现象。一种是发生在两类临界点附近的慢化现象(即所谓的临界慢化),计算出了它们的临界慢化指数。另一种是远离临界点的慢化现象,这是一种与不稳工作点有关的慢化现象。本文的讨论具有一定的普适性。
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