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用于半导体生产的电子气的种类和用途如表1所示。
电子工业用的特种气体
【摘 要】
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用于半导体生产的电子气的种类和用途如表1所示。
【机 构】
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不详,化工部西南化工研究院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年2期
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