微电子元件和厚膜混合集成电路的制造

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oliu1113
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为了制造微电子元件的多层基片和混合集成电路的涂覆层,采用热塑性液晶聚合物(温度360~400℃)和全芳香聚酯、聚酰胺酯、聚碳酸酯、聚酰胺酰亚胺酯、聚酰亚胺 In order to manufacture a multilayer substrate for microelectronic components and a coating layer for a hybrid integrated circuit, a thermoplastic liquid crystal polymer (temperature of 360 to 400 ° C) and a wholly aromatic polyester, a polyesteramide, a polycarbonate, a polyamideimide Ester, polyimide
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