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4月14日，由沈阳拓荆科技有限公司（以下简称“拓荆科技”）建设的我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈阳市浑南区落成投产。该基地一期可容纳1000人规模的研发制造团队，年产能可达100台（套），实现产值15亿元。全部达产后，年产能可达350台（套）。
我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈投产
【摘 要】
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4月14日，由沈阳拓荆科技有限公司（以下简称“拓荆科技”）建设的我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈阳市浑南区落成投产。该基地一期可容纳1000人规模的研发制造团队，年产能可达1
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2017年5期
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