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金刚石的欧姆接触是制造半导体器件的关键技术之一。简要综述了近年来P型金刚石制备欧姆接触的研究进展，结合器件的发展和实际工艺的要求，讨论了改善欧姆接触特性的途径和方法，指出目前存在急需解决的一些问题。
P型金刚石欧姆接触的研究
【摘 要】
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金刚石的欧姆接触是制造半导体器件的关键技术之一。简要综述了近年来P型金刚石制备欧姆接触的研究进展，结合器件的发展和实际工艺的要求，讨论了改善欧姆接触特性的途径和方法，
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院、国家晶体材料重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金（10374360）,山东省自然科学基金（Y2003A01）
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