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就洁净厂房压差控制实际应用中出现的问题,讨论了从设计、安装、调试、运行等多方面来保证压差控制稳定的方法及改进措施,供参考。
论洁净厂房压差控制问题及改进措施
【摘 要】
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就洁净厂房压差控制实际应用中出现的问题,讨论了从设计、安装、调试、运行等多方面来保证压差控制稳定的方法及改进措施,供参考。
【机 构】
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信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
【出 处】
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广东科技
【发表日期】
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2012年13期
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