【摘 要】
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真空箱式氦检技术是一种正压法气密性检测技术，检测时将工件置于真空密闭环境下，内部充注氦气，使用氦质谱仪对真空环境下工件漏率进行检测，检测精度为10-15 bar · L/s。该技术在
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真空箱式氦检技术是一种正压法气密性检测技术，检测时将工件置于真空密闭环境下，内部充注氦气，使用氦质谱仪对真空环境下工件漏率进行检测，检测精度为10-15 bar · L/s。该技术在国内尚未普及。文中介绍了该技术具体实施方法和相应检测标准并举例分析，阐述了其具有安全、高精度、环保等优点。为此项技术在国内GIS补偿器的检漏领域中应用提供参考。
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