【摘 要】
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采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜，研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响，利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成，通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能。结果表明：吸气剂激活过程中，H2O、CO2和CO/N2在350℃以下就已脱附；当激活温度达到350～450℃时，脱附气体只剩H2和CH4，CH4为吸气剂脱附产生的H2与四极质谱计灯丝发生反应所得；制备的N
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采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜，研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响，利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成，通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能。结果表明：吸气剂激活过程中，H2O、CO2和CO/N2在350℃以下就已脱附；当激活温度达到350～450℃时，脱附气体只剩H2和CH4，CH4为吸气剂脱附产生的H2与四极质谱计灯丝发生反应所得；制备的Ni膜均匀覆盖在吸气剂表面，不会改变吸气剂的表面形貌；进行Ni膜表面改性后，吸气剂的吸气容量明显增大，且镀膜2h所得吸气剂的平衡压最小，吸附性能最好。
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