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放眼全球,集成电路制造工艺的升级速度却依然未减,新材料、新器件、新工艺的产业化进程尚未真正来临。"十三五"期间,在坚持以FinFET为代表的先进工艺技术升级的同时,还需积极拓展新兴应用市场,以实现我国集成电路产业的做大做强。
我国集成电路制造最新态势及未来展望
【摘 要】
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放眼全球,集成电路制造工艺的升级速度却依然未减,新材料、新器件、新工艺的产业化进程尚未真正来临。"十三五"期间,在坚持以FinFET为代表的先进工艺技术升级的同时,还需积极
【机 构】
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中国信息通信研究院
【出 处】
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现代电信科技
【发表日期】
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2016年04期
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