【摘 要】
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为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求,该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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装备预研重点实验室基金资助项目(6142105030604)
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为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求,该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不同电极面积(200μm2、150μm2、100μm2、50μm2、25μm2)对谐振器横向寄生谐振的影响,并对比了上电极变化和上、下电极同时变化对器件横向寄生谐振程度的影响。结果表明,器件在谐振点(3.455 GHz)附近的横向寄生谐振随电极面积的减小而增加,当电极面积为25μm2时,器件的横向寄生谐振现象最显著;
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