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分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响.
大孔径差分真空系统中充气气流效应分析
【摘 要】
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分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响.
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2007年5期
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