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测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪.露点仪因所使用的冷却方法和检测控制方法不同,可以分为多种类型.这里只介绍热电制冷自动检测露层的平衡式精密露点仪在半导体芯片生产中的应用.
露点仪在半导体芯片生产中的应用
【摘 要】
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测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪.露点仪因所使用的冷却方法和检测控制方法不同,可以分为多种类型.这里只介绍热电制冷自动检测露层的平衡式精密露点仪在半导体
【机 构】
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辽宁省计量科学研究院
【出 处】
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企业标准化
【发表日期】
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2005年8期
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