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简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件,最后介绍这种加速度计的优良性能.
新颖型非整体膜结构硅加速度计的研制
【摘 要】
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简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件,最后介绍这种加速度计的优良性能.
【机 构】
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湖南吉首大学物理与电子工程系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2002年5期
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