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本文从温控晶闸管结构模型出发,建立一组相应的方程,获得了温控晶闸管导通温度与离子注入剂量的关系。通过精确控制离子注入剂量,器件可以获得预期的导通温度。
温控晶闸管导通温度的设计
【摘 要】
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本文从温控晶闸管结构模型出发,建立一组相应的方程,获得了温控晶闸管导通温度与离子注入剂量的关系。通过精确控制离子注入剂量,器件可以获得预期的导通温度。
【机 构】
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中国舰船研究院微电子技术研究中心,中国舰船研究院微电子技术研究中心武昌430072,武昌430072
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1992年1期
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