共溅射法金属掺杂透明导电ITO薄膜的研究进展

来源 :韩山师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kenkenson
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论述了磁控共溅射法在透明导电ITO薄膜中掺杂其他的金属材料的重要性,综述了采用该方法在ITO薄膜上掺杂Zn、Ag、Mn等金属材料后,薄膜光谱透射率的变化,并且对掺杂之后ITO薄膜的结晶情况、微观机理的变化、导电性能与光谱透射特性的内在联系进行归纳总结。
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