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共溅射法金属掺杂透明导电ITO薄膜的研究进展
共溅射法金属掺杂透明导电ITO薄膜的研究进展
来源 :韩山师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kenkenson
【摘 要】
:
论述了磁控共溅射法在透明导电ITO薄膜中掺杂其他的金属材料的重要性,综述了采用该方法在ITO薄膜上掺杂Zn、Ag、Mn等金属材料后,薄膜光谱透射率的变化,并且对掺杂之后ITO薄膜的
【作 者】
:
郑泽浩
【机 构】
:
韩山师范学院物理与电子工程系
【出 处】
:
韩山师范学院学报
【发表日期】
:
2013年6期
【关键词】
:
进展
ITO薄膜
掺杂
progress
ITO thin film
doped
【基金项目】
:
韩山师范学院青年科学基金项目(项目编号:LQ101104).
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论述了磁控共溅射法在透明导电ITO薄膜中掺杂其他的金属材料的重要性,综述了采用该方法在ITO薄膜上掺杂Zn、Ag、Mn等金属材料后,薄膜光谱透射率的变化,并且对掺杂之后ITO薄膜的结晶情况、微观机理的变化、导电性能与光谱透射特性的内在联系进行归纳总结。
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