电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chaba

【摘要】

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电子回旋共振(ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用.利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊

【作者】

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吴振宇汪家友杨银堂

【机构】

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西安电子科技大学微电子研究所

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2004年1期

【关键词】

：

电子回旋共振等离子体源 ECR 朗谬尔探针等离子体诊断饱和电流 ECR Plasma Diagnostics Langmuir probe

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电子回旋共振(ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用.利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度,电子密度和等离子体电势等参量.实验证明,ECR等离子体源能够稳定地产生电子温度较低的高密度等离子体.

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