【摘 要】
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辉光放电光谱分析仪器可直接分析固体样品,并可对样品表面进行沿深度方向的逐层分析,可用于材料表面成分分析、产品质量检验等研究领域。文中研究了一种小型辉光放电光谱系统
【基金项目】
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国家自然科学基金(61440006);河北省自然科学基金(B2014201008);河北大学研究生教育教学改革研究项目(Yjs2016-33)~~
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辉光放电光谱分析仪器可直接分析固体样品,并可对样品表面进行沿深度方向的逐层分析,可用于材料表面成分分析、产品质量检验等研究领域。文中研究了一种小型辉光放电光谱系统,研制了辉光放电激发源,并采用射频电源驱动。采用AvaSpec-ULS2048型便携式CCD全光谱检测器,代替传统的多道分光检测系统,简化了仪器结构并减小了体积,更适合应用于小型的实验室和学校研究室等一些场合。通过实验确定了此系统分析铜基、铁基块状样品的最优工作参数,为射频功率50 W、氩气压强270 Pa。采用本系统对铜基、铁基块状样品进行了分析精密度实验,Cu基样品中的P、S、Al、Si元素测试结果的相对标准偏差值(RSD)均≤2.13%,Fe基样品中的Cu、C、Al、Si元素测试结果的相对标准偏差值(RSD)均≤2.08%。采用该系统对20.86μm镀锌层样品进行了深度剖面分析,给出了Zn、Fe、C、P、Al、Si元素的光谱强度分析曲线。
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