BST薄膜的微结构研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lingqiuyi

【摘要】

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采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构.用优化的成膜工艺制备出

【作者】

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陈宏伟杨传仁符春林赵莉高志强

【机构】

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电子科技大学微电子与固体电子学院

【出处】

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电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

无机非金属材料钛酸锶钡薄膜射频磁控溅射微结构电畴 BST薄膜 inorganic non-metallic materials BST thin fi

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采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构.用优化的成膜工艺制备出成分与靶材基本一致,具有钙钛矿结构的BST多晶薄膜.利用扫描力显微镜中的压电模式(PFM)观察到了BST薄膜中的a畴和c畴,初步确定在BST薄膜中多畴转变为单畴的临界尺寸为28～33 nm.

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