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纳米级微动工作台是纳米科学技术研究的关键仪器设备，本文对纳米级微动工作台的研究现状进行了综述，对现有的纳米级微动工作台的工作原理、性能特点和可实现的运动范围及精度进行了分析比较，在此基础上。对纳米级微动工作台的发展趋势做了展望。
纳米级微动工作台的研究现状及发展趋势
【摘 要】
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纳米级微动工作台是纳米科学技术研究的关键仪器设备，本文对纳米级微动工作台的研究现状进行了综述，对现有的纳米级微动工作台的工作原理、性能特点和可实现的运动范围及精度进
【机 构】
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浙江理工大学纳米测量技术实验室
【出 处】
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浙江理工大学学报
【发表日期】
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2006年1期
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