【摘 要】
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多晶硅制备方法主要有气液沉积法、流化床法、硅烷热解法、冶金法、物理提纯法、改良西门子法等。改良西门子法由于安全性好、沉积速率高、纯度较高等优点,成为目前应用最广
【基金项目】
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四川省教育厅自然科学基金研究项目(17ZB0200)
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多晶硅制备方法主要有气液沉积法、流化床法、硅烷热解法、冶金法、物理提纯法、改良西门子法等。改良西门子法由于安全性好、沉积速率高、纯度较高等优点,成为目前应用最广泛的工艺方法。SiHCl3还原是其中一项关键技术,也是主要耗能部分。在国家提倡建设节能降耗、绿色环保型企业的背景下,如何提高SiHCl3一次转化率和Si的沉积速率,从而提高产量和质量,降低能耗,具有重要意义。本文针对该问题探究相关参数和优化方法,结合生产实践,探究合理解决方案。
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