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目的研究纳米氧化锌的绿光发光机制。方法深能级瞬态分析法。在实验设计中，根据衬底和薄膜的性质，利用示波器、纯电阻箱、信号源等简单的实验设备。在理论计算方面，用Matlab语言编程计算得到缺陷能级。结果实验精度较高；缺陷能级距导带1．62eV，这个能量差值恰和孙玉明在ZnO缺陷能级计算的博士论文中氧空位缺陷能级相符。结论绿光发射是电子由导带到氧空位缺陷能级的跃迁所致。