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CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产.介绍了传感器的原理、结构及处理电路,并对微系统集成的概念及生产工艺进行了讨论,对传感器的应用前景及领域进行了展望与预测.
CMOS集成电容绝对压力传感器
【摘 要】
：
CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产.介绍了传感器的原理、结构及处理电路,并对微系统集成的概念及
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
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2001年11期
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